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RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀

  • 簡單描述
  • 恒流源電流量程分為1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA六檔;可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動測量功能,自動選擇適合樣品測試電流量程;高速并口通訊接口,連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒(在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時);
  • 更新時間:  2025-05-19
  • 產(chǎn)品型號:  RTS-8
詳細(xì)介紹

 RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀

1.恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔;

2.可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動測量功能,自動選擇適合樣品測試電流量程;

3.高速并口通訊接口,連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒(在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時);

RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
    儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
    儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

 RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技術(shù)參數(shù):

 測量范圍

 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展);  
 方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展); 
 電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm; 
 電阻:10-5~105 Ω; 

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺);

恒流源

 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 精度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距:1±0.01mm;
 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
 機(jī)械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測量zui大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤5%

測試模式

 可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能(選配)

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機(jī)通訊接口

 并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5  秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時)。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2℃;
 相對濕度:≤65%;
 無高頻干擾;
 無強(qiáng)光直射;

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